我院自研自制仪器“脉冲喷雾蒸发化学气相沉积系统”获校级成果奖

发布者:系统管理员审核:yqk终审:发布时间:2015-11-23浏览次数:1429

20151119日,实验室与设备管理处举行了2015年自研自制仪器设备成果认定评审会,经答辩、讨论,最终确定“脉冲喷雾蒸发化学气相沉积系统”、“高压临氢部件氢气循环测试系统”和“大功率IGBT离线测试装置”3项自研自制仪器设备获得2015年浙江大学自研自制仪器设备校级成果奖,其中姜银珠老师完成的“脉冲喷雾蒸发化学气相沉积系统”获得优秀成果奖。
“脉冲喷雾蒸发化学气相沉积系统”是姜银珠老师牵头完成的自制设备。它采用液态、多喷嘴、脉冲进样的方式,所以其在制备多种成分纳米复合材料,尤其是金属/金属氧化物纳米复合材料方面有着独特的优势。该系统采用了脉冲进样及前驱物溶液等技术,能够制备面积较大的薄膜且薄膜结构致密,结晶性良好,精确地对产物的成分形貌进行调控,制备的材料种类广泛。有关PSE-CVD方法制备金属氧化物薄膜的专利已经得到产业界的重视,已有公司有意向共同开发此系统的商用生产设备。
学校希望通过自研自制仪器设备成果认定,鼓励科研人员、实验技术人员使用各类经费开展仪器设备的自研自制工作,从而提升我校自主研发水平和科技创新能力。